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感应加热表面淬火零件与普通淬火零件一样，需要进行回火处理。回火是为了降低零件的脆性，提高韧性，减少内应力，防止开裂，防止变形，提高尺寸稳定性，保证机械性能的重要工序。普通热处理的回火一般都在炉中进行。而感应淬火则根据零件的情况，可以选用炉中回火，自行回火和感应加热回火等几种回火方法。
1 炉中回火
高碳钢的刀具和量具、中碳钢或中碳合金钢的齿轮和花键轴、合金铸铁的凸轮轴等零件，在感应淬火时需要较低的淬火冷却速度，往往采用油中或水中的浸沉冷却方式，有时也采用有机淬火介质的喷射冷却方式，还有一些感应淬火的薄壁零件。以上这些零件，淬火冷却后，基本冷透了，需要进行炉中加热回火。回火后零件硬度稍有下降，减少内应力，防止或减少零件的裂纹和变形。
2 自行回火
圆柱形零件或其他形状简单的零件，在同时加热淬火后可采用自行回火。所谓自行回火是利用淬火冷却后，在零件的内部仍然保存的一部分热量，当这部分热量重新返回淬火层，使其升温并达到回火的效果，这种方式的回火称为自行回火。
3 感应加热回火
感应加热回火也称为电回火。某些长轴或其他大型零件在感应加热连续淬火以后已经冷透，不能进行自行回火。如采用炉中回火，或是炉膛容纳不下，或是装炉数量太少，又因工艺时间太长，一般难以采用，这时多采用感应加热回火。欧美日等国近年生产的感应淬火自动线，为提高生产率，使回火与淬火同节拍进行，大都采用感应加热回火。
感应加热回火的频率应该比淬火加热时的频率低一些，以保证加热层足够和加热温度均匀。
